长鑫存储取得湿法处理设备及其的控制方法、存储介质和电子设备专利，解决了现有技术的湿法刻蚀出现的液体偷滴问题

2024年3月28日消息，据国家知识产权局公告，长鑫存储技术有限公司取得一项名为“湿法处理设备及其的控制方法、存储介质和电子设备“，授权公告号CN113628986B，申请日期为2020年5月。

专利摘要显示，本公开涉及半导体生产制造技术领域，提出了一种湿法处理设备及其的控制方法、存储介质和电子设备，湿法处理设备包括第一通道、喷嘴、第二通道以及传感器，喷嘴包括喷口，喷嘴与第一通道相连通；第二通道内用于形成负压，第二通道包括开口，喷口位于第二通道内，开口位于喷口的下方；传感器用于检测喷嘴内是否有液体。湿法处理设备通过传感器检测喷嘴内是否有液体，并可以通过第二通道内形成的负压将喷嘴内的液体吸走，以防喷嘴内的液体掉落，从而解决了现有技术的湿法刻蚀出现的液体偷滴问题。